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Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke

Erschienen am 03.09.2010
37,00 €
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Bibliografische Daten
ISBN/EAN: 9783866445291
Sprache: Deutsch
Umfang: 176
Format (T/L/B): 21.0 x 14.0 cm

Beschreibung

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.

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